ООО СТАЛИС

Русский

 

 

 

Наша продукция/ Установка химической обработки пластин “КС-01” small logo

     Установка предназначена для химической обработки полупроводниковых пластин диаметром 60, 76, 100 и 150 мм в различных невзрывоопасных реагентах с последующей промывкой в деионизированной воде.

Габаритные размеры установки: длина 1870 мм, ширина 1165 мм, высота 2400 мм.

Количество ванн : фторопластовых 3 шт., стоп-ванна 1 шт., полипропиленовых для отмывки в деионизованной воде – 2 шт.

Каркас установки и ванны для отмывки пластин в деионизованной воде выполнены из полипропилена, ванны для обработки в химреактивах – из фторопласта.

Объем ванн :

  • 10 литров для пластин диаметром 100 – 150 мм;
  • 6 литров для пластин диаметром 60 – 76 мм.

Каждая фторопластовая ванна имеет: нагреватель химреактивов мощностью 0.5, 0.75, 1.5 кВт на напряжение 220 В, термопреобразователь (для непрерывного измерения температуры рабочей среды) и эжекторную трубку (для слива химреактивов из ванны). Контроль и регулировка за заданными параметрами в ванне осуществляется микропроцессорным измерителем – регулятором типа ТРМ1.

Контроль времени осуществляется микропроцессорным таймером обратного отсчёта FS -1. Таймер индицирует время до окончания процесса, а также позволяет задавать число циклов обработки от 1 до 9, время обработки, время подачи предварительного сигнала об окончании процесса.

Стоп – ванна имеет душ и работает по программе быстрого наполнения водой и сброса воды. Количество циклов обработки задается реле времени FS-1 от 1 до 9 .

Ванны промывки в деионизованной воде однокаскадные с постоянным контролем расхода подаваемой воды ротаметром и качества воды (уд. электрического сопротивления и температуры) микропроцессорным кондуктометром “Сириус-2”.

Производительность одной ванны :

  • 50 пластин диаметром 100 мм в двух кассетах ЩЦМ8.212.312-01;
  • 25 пластин диаметром 150 мм в одной кассете.

Технические характеристики установки :

  • рабочий регулируемый диапазон температуры реагентов во фторопластовой ванне: 50 – 120° C ;
  • точность поддержания температуры реагентов в регулируемом диапазоне: плюс, минус 1° C ;
  • время нагрева реагентов от температуры 20° C до температуры 120° C : 60 минут;
  • диапазон задания времени сигнализации окончания технологических операций в ваннах – от 1 с до 99 мин. 59 с. Дискретность регулировки 1 сек. По окончании времени отсчета срабатывает световая сигнализация, установленная на верхней панели установки;
  • система двойной очистки воздуха, подаваемого в рабочий объем установки (предварительная очистка через фильтр ФяГ и окончательная через фильтр ФяС) позволяет обеспечить класс очистки Н14 (процент задерживаемых частиц размером 0.3 мкм: 99.95 – 99.995).

 

По заявке заказчика возможно изменение габаритных размеров, количества ванн и других параметров установки.

Карта сайта | ©2004 ООО "СТАЛИС"