ООО СТАЛИС

Русский | English

 

 

 

Наша продукция/ Установка химической обработки пластин “КС-02” small logo

     Установка предназначена для химической обработки полупроводниковых пластин диаметром 60, 76, 100 и 150 мм в различных невзрывоопасных реагентах с последующей промывкой в деионизированной воде.

Габаритные размеры установки: длина 1870 мм, ширина 950 мм, высота 1580 мм.

Количество ванн : фторопластовых 3 шт., полипропиленовых для отмывки в тёплой деионизованной воде 1 шт., полипропиленовых двухкаскадных ванн для отмывки в деионизованной воде – 2 шт.

Каркас установки и ванны для отмывки пластин в деионизованной воде выполнены из полипропилена, ванны для обработки в химреактивах – из фторопласта.

Объем ванн :

  • 10 литров для пластин диаметром 100 – 150 мм;
  • 6 литров для пластин диаметром 60 – 76 мм.

Каждая фторопластовая ванна имеет: нагреватель химреактивов мощностью 0.5, 0.75, 1.5 кВт на напряжение 12 В, термопреобразователь (для непрерывного измерения температуры рабочей среды) и эжекторную трубку (для слива химреактивов из ванны). Контроль и регулировка за заданными параметрами в ванне осуществляется микропроцессорным измерителем – регулятором типа ТРМ1.

Контроль времени осуществляется микропроцессорным таймером обратного отсчёта FS -1. Таймер индицирует время до окончания процесса, а также позволяет задавать число циклов обработки от 1 до 9, время обработки, время подачи предварительного сигнала об окончании процесса.

Ванны промывки в холодной деионизованной воде- двухкаскадные с постоянным контролем расхода подаваемой воды ротаметром и качества воды (уд. электрического сопротивления и температуры) микропроцессорным кондуктометром “Сириус-2”, с возможностью создания "азотной завесы" над финишным каскадом.

Ванна промывки в тёплой деионизованной воде- однокаскадная с постоянной подачаей.

Производительность одной ванны :

  • 50 пластин диаметром 100 мм в двух кассетах ЩЦМ8.212.312-01;
  • 25 пластин диаметром 150 мм в одной кассете.

Технические характеристики установки :

  • рабочий регулируемый диапазон температуры реагентов во фторопластовой ванне: 50 – 120 ° C ;
  • точность поддержания температуры реагентов в регулируемом диапазоне: ± 1° C ;
  • время нагрева реагентов от температуры 20° C до температуры 120° C : 60 минут;

По заявке заказчика возможно изменение габаритных размеров, количества ванн и других параметров установки.

Карта сайта | ©2005 ООО "СТАЛИС"