ООО СТАЛИС

Русский | English

 

 

 

Наша продукция/ Установка травления полупроводниковых пластин “КС-03” small logo

 1. Установка предназначена для травления и химической обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150мм или 150х150мм в различных невзрывоопасных реагентах с последующей промывкой в теплой и холодной деионизованной воде марки А по ОСТ11 029.003-80. Метод обработки пластин - групповой, кассетный.

2. Установка может работать автономно или совместно в составе технохимического комплекса обработки пластин.

3. Установка изготовлена в исполнении УХЛ категории 4.2 ГОСТ 15150-69.

4. Габаритные размеры установки: высота 1800 мм, длина 1670 мм, ширина 1000 мм.

5. Количество полипропиленовых ванн -4шт.

5.1. Ванна №1 с нагревателем для химического травления пластин в невзрывоопасных реагентах.

Размер ванны-735х535х390 мм (110л).

Возможно дискретное механическое встряхивание кассет с пластинами на химически стойком плоском поддоне,

расположенном в ванне травления. Одновременно обрабатываемых кассет с пластинами в ванне для травления- 6 штук с пластинами150х150мм, 8 штук с пластинами 125х125мм.

Рабочий регулируемый диапазон температуры реагентов в ванне №1 травления - 30-85 °С. Дискретность задания температуры реагента -0,1°С.

Точность поддержания температуры реагентов в регулируемом диапазоне - ±1°С.

Время нагрева реагента от температуры 20±5 °С до 85 °С (или 110 литров воды от температуры 20±5 °С до 85 °С) - не более 60 мин.

Диапазон задания длительности технологических операций в ванне травления – от 1мин до 99мин.Дискретность задания длительности -1 мин.

5.2. Ванна №2 для предварительной промывки пластин в воде от реагента.

Размер ванны-540х250х270 мм. Одновременно обрабатывается 2 кассеты с пластинами. Подача воды производится ручными шаровыми вентелями.

5.3. Ванны №№ 3 и 4 для промывки пластин в деионизованной воде с барботированием азотом.

Размер ванны-690х250х270 мм.

Одновременно в ванне промываются 3 кассеты с пластинами 150х150мм и 4 кассеты с пластинами 125х125мм.

Контроль качества отмывки пластин в деионизованной воде производится с помощью кондуктометра «Сириус-2» АВПА.466452.001РЭ.

Расход деионизованной воды в ваннах финишной отмывки регулируется в диапазоне 100-1200л/ч.

Подача воды производится по 2-м магистралям:

-байпасный, постоянно открытый;

-основной, включаемый автоматически по команде от кондуктометра при помещении в ванны загрязненных пластин. При достижении заданной чистоты отмывки, контролируемой по удельному сопротивлению воды, основная магистраль автоматически перекрывается пневмоклапаном. Возможно также ручное управление пневмоклапаном от кнопок на панели управления.

Карта сайта | ©2005 ООО "СТАЛИС"