ООО СТАЛИС

Русский | English

 

 

 

Наша продукция/ Установка травления полупроводниковых пластин “КС-04” small logo

  1. Установка предназначена для травления и химической обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150мм или 150х150мм в различных невзрывоопасных реагентах с последующей промывкой в теплой и холодной деионизованной воде марки А по ОСТ11 029.003-80. Метод обработки пластин - групповой, кассетный.

2. Установка может работать автономно или совместно в составе технохимического комплекса обработки пластин.

3. Установка изготовлена в исполнении УХЛ категории 4.2 ГОСТ 15150-69.

4. Габаритные размеры установки: высота 1800 мм, длина 1670 мм, ширина 1000 мм.

5. Количество фторопластовых ванн – 1шт.,полипропиленовых ванн -3шт.

5.1.Ванна №1 фторопластовая с нагревателем для химического травления пластин в

невзрывоопасных реагентах.

Размер ванны-440х300х300 мм (40л).

Одновременно обрабатываемых кассет с пластинами в ванне для травления- 2 штук с пластинами150х150мм, 2 штук с пластинами 125х125мм (по 2 кассеты).

Рабочий регулируемый диапазон температуры реагентов в ванне №1 травления - 30-150 ° С. Дискретность задания температуры реагента -0,1°С.

Точность поддержания температуры реагентов в регулируемом диапазоне - ±1°С.

Время нагрева реагента от температуры 20±5 ° С до 150 ° С (или 40 литров воды от температуры 20±5 ° С до 100 ° С) - не более 60 мин.

Диапазон задания длительности технологических операций в ванне травления – от 1мин до 99мин. Дискретность задания длительности -1 мин.

5.2. Ванна №2 для предварительной промывки пластин в воде от реагента.

Размер ванны-540х250х270 мм. Одновременно обрабатывается 2 кассеты с пластинами. Подача воды производится ручными шаровыми вентилями.

5.3. Ванны №№ 3 и 4 для промывки пластин в деионизованной воде с барботированием азотом.

Размер ванны-690х250х270 мм. Одновременно в ванне промываются 3 кассеты с пластинами 150х150мм и 4 кассеты с пластинами 125х125мм.

Расход деионизованной воды в ваннах финишной отмывки регулируется и контролируется в диапазоне 100-1200л/ч по ротаметрам. Подача воды производится ручными шаровыми вентилями. Время отмывки контролируется по таймеру.

Карта сайта | ©2005 ООО "СТАЛИС"