ООО СТАЛИС

 

 

 

Наша продукция/Система микропроцессорного управления линиями фотолитографии «Рельеф-Р» и "Лада-125"

small logo

 

Технические характеристики

системы микропроцессорного управления линиями фотолитографии «Рельеф-Р» и «Лада-125».

Назначение

     Система микропроцессорного управления предназначена для управления треками нанесения и проявления фоторезиста, обработки в парах адгезива, гидромеханической отмывки и построена на современной элементной базе.  Треки агрегатируются с установками кондуктивной сушки Система управления обеспечивает как автономную работу треков, так и построение на их основе различных по конфигурации технологических линий.

Система осуществляет мониторинг прохождения пластин по циклу обработки и обеспечивает остановку в типовых аварийных ситуациях: обрыв пассиков, сбой шага приемной кассеты, выход параметров технологического процесса за установленные границы.

     Система заменяет платы управления и обеспечивает ввод с клавиатуры, хранение и выполнение до 16-ти различных технологических процессов. Предусмотрена возможность подбора оптимального технологического процесса, включающего многоэтапное проявление и сушку пластин (до 24 этапов), в том числе проявление при неподвижной центрифуге

     Установка системы требует минимальной доработки штатного блока управления. Использование системы обеспечивает повышение надежности работы автомата, сокращает время восстановления при ремонте.

Технические данные при использовании треков «Рельеф-Р»

1. Частота вращения центрифуги 500…10000 мин-1 ± 5%(КР). Задается с шагом 100 мин-1.

2. Ускорение частоты вращения до 50000 мин-1 *с –1. Задается с шагом 1000 мин-1 *с –1.

3. Диапазон регулирования времени технологических операций 0.1…99.9 с.

4. Диапазон регулирования температуры плитки 40…80± 3 °C; 81…250 ± 1 °C .

5. Отображение фактических параметров на  2-х строчном ЖК-индикаторе.

 

Карта сайта | ©2004 ООО "СТАЛИС"